În cadrul acestei etape, IMT București a fabricat structuri SERS bazate pe 4 configurații diferite. Diferențele dintre acestea au constat în varierea dimensiunilor structurilor de tip semicerc, orientarea lor și spațierea acestora. Un alt tip se structură a cuprins cercuri cu raza de 30 nm și cu distanțe diferite între acestea: 100/150/200 nm. Ariile SERS configurate au variat, în functie de gradul de dificultate în fabricarea structurilor. Pentru configurațiile bazate pe semicercuri, ariile configurate au fost de 250 m × 250 m și 500 × 500 micrometri, în timp ce pentru structurile cu cercuri aria a fost mai mare, de 1mm × 1mm.
Structurile SERS au fost fabricate folosind litografia cu fascicul de electroni (EBL). Principalele etape tehnologice au constat în etalarea și configurarea prin EBL a stratului de rezist (PMMA), developarea acestuia, urmată de depunerea prin evaporare, folosind echipamentul Temescal FC-2000 (Temescal, SUA), a unui film metalic cu grosimea de 60 nm (5 nm de Ti folosit ca strat de aderență și 55 nm de Au) și în final, obținerea configurație dorite prin dizolvarea rezistului împreună cu metalul de deasupra în acetonă (procesul lift-off). La final, structurile au fost acoperite cu un film subțire de Au, depus prin evaporarea în vid, pentru a genera efectul plasmonic. În etapa de optimizare a procesului tehnologic s-au testat mai multe grosimi pentru stratul metalic final (20/40/60/80 nm), iar în rezultatele caracterizărilor Raman au pus în evidența că grosimea optimă este de 60 nm.
În timpul procesării, toate tipurile de structuri au fost evaluate morfologic, folosind microscopia cu fascicul de electroni (SEM). Structurile SERS au fost trasate în cipuri cu dimensiuni de 30 mm × 10 mm, iar zonele configurate au fost poziționate în centrul cipului, pentru a se potrivi cu configurația sistemului microfluidic și pentru asamblarea ulterioară.
Structurile SERS au fost trimise la partenerii SINTEF și INCDFM pentru caracterizări Raman ulterioare. Structurile SERS C80 au fost testate folosind tiabendazolul și rodamina 6G, iar rezultatele obținute au fost diseminate la conferința EUROSENSORS XXXVII.
