\u00cen cadrul acestei etape, IMT Bucure\u0219ti a fabricat structuri SERS bazate pe 4 configura\u021bii diferite. Diferen\u021bele dintre acestea au constat \u00een varierea dimensiunilor structurilor de tip semicerc, orientarea lor \u0219i spa\u021bierea acestora. Un alt tip se structur\u0103 a cuprins cercuri cu raza de 30 nm \u0219i cu distan\u021be diferite \u00eentre acestea: 100\/150\/200 nm. Ariile SERS configurate au variat, \u00een functie de gradul de dificultate \u00een fabricarea structurilor. Pentru configura\u021biile bazate pe semicercuri, ariile configurate au fost de 250 \uf06dm \u00d7 250 \uf06dm \u0219i 500 \u00d7 500 micrometri, \u00een timp ce pentru structurile cu cercuri aria a fost mai mare, de 1mm \u00d7 1mm.
Structurile SERS au fost fabricate folosind litografia cu fascicul de electroni (EBL). Principalele etape tehnologice au constat \u00een etalarea \u0219i configurarea prin EBL a stratului de rezist (PMMA), developarea acestuia, urmat\u0103 de depunerea prin evaporare, folosind echipamentul Temescal FC-2000 (Temescal, SUA), a unui film metalic cu grosimea de 60 nm (5 nm de Ti folosit ca strat de aderen\u021b\u0103 \u0219i 55 nm de Au) \u0219i \u00een final, ob\u021binerea configura\u021bie dorite prin dizolvarea rezistului \u00eempreun\u0103 cu metalul de deasupra \u00een aceton\u0103 (procesul lift-off). La final, structurile au fost acoperite cu un film sub\u021bire de Au, depus prin evaporarea \u00een vid, pentru a genera efectul plasmonic. \u00cen etapa de optimizare a procesului tehnologic s-au testat mai multe grosimi pentru stratul metalic final (20\/40\/60\/80 nm), iar \u00een rezultatele caracteriz\u0103rilor Raman au pus \u00een eviden\u021ba c\u0103 grosimea optim\u0103 este de 60 nm.
\u00cen timpul proces\u0103rii, toate tipurile de structuri au fost evaluate morfologic, folosind microscopia cu fascicul de electroni (SEM). Structurile SERS au fost trasate \u00een cipuri cu dimensiuni de 30 mm \u00d7 10 mm, iar zonele configurate au fost pozi\u021bionate \u00een centrul cipului, pentru a se potrivi cu configura\u021bia sistemului microfluidic \u0219i pentru asamblarea ulterioar\u0103.
Structurile SERS au fost trimise la partenerii SINTEF \u0219i INCDFM pentru caracteriz\u0103ri Raman ulterioare. Structurile SERS C80 au fost testate folosind tiabendazolul \u0219i rodamina 6G, iar rezultatele ob\u021binute au fost diseminate la conferin\u021ba EUROSENSORS XXXVII.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
\u00cen cadrul acestei etape, IMT Bucure\u0219ti a fabricat structuri SERS bazate pe 4 configura\u021bii diferite. Diferen\u021bele dintre acestea au constat \u00een varierea dimensiunilor structurilor de tip semicerc, orientarea lor \u0219i spa\u021bierea acestora. Un alt tip se structur\u0103 a cuprins cercuri cu raza de 30 nm \u0219i cu distan\u021be diferite \u00eentre acestea: 100\/150\/200 nm. Ariile SERS […]<\/p>\n","protected":false},"author":2,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-1334","page","type-page","status-publish","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1334","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1334"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1334\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1339,"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1334\/revisions\/1339"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/water4all.ro\/stardust\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1334"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}